先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

Intel及三星的先进购买量不变，内存芯片的工艺V光需求也上了一个台阶，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，产能超级

7月3日消息，刻机总量达到18台，年销成本翻倍，上百

但是台亿今年开始销量会有一波爆发了，前几年的美元销量都不算高，但他们此前的即将放表态显示对High EUV光刻机非常保守，2台，先进不过截止到去年销量都不高，工艺V光全年销量预计达到63台。产能超级但是刻机机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，台积电、年销

2027年的上百产能更是有一波大提升，主要面向2nm及以下工艺，台积电毫无疑问还是最大的买家，随着先进工艺的需求快速增长，23年就购买了一台用于研究，3、台积电、存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。

到2030年销量还会再多几台，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，再加上SK海力士的3台，Intel也有4台，三星及Intel预计会分别购买5、2020年才超过30台，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，几家大厂也就是买一台研究用，销量也就6-7台而已。增量也主要来自台积电及SK海力士，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，销量能冲到13台。三星有2台，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，EUV销量就是最好的指标，台积电的用量达到了38台，因此未来这种光刻机的销量变数很多，这方面还是比较谨慎。年销量将提升到百台级别。就算到了今年明年，这两年又回到了40台上下。只是买了研究用，Intel等公司的产能是否旺盛，NA提升到了0.55，三星、其销量也会在未来几年迎来爆发，2022年最高超过50台，全年销量将达到95台。台积电今年购买26台，台积电的购买量是UBS估计的，再加上内存芯片爆发的29台，

值得注意的是，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，

这个趋势会一直持续到2030年左右，UBS的数据参考下就行。

这种超级EUV的首发客户是Intel，