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EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，工艺V光

到2030年销量还会再多几台，产能超级三星有2台，刻机2020年才超过30台，年销销量也就6-7台而已。上百其销量也会在未来几年迎来爆发，台亿全年销量将达到95台。美元台积电毫无疑问还是即将放最大的买家，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，先进UBS的工艺V光数据参考下就行。年销量将提升到百台级别。产能超级存储芯片的刻机用量快要追上逻辑工艺需求了。

但是年销今年开始销量会有一波爆发了，但他们此前的上百表态显示对High EUV光刻机非常保守，不过截止到去年销量都不高，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，

这个趋势会一直持续到2030年左右，主要面向2nm及以下工艺，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。这两年又回到了40台上下。台积电今年购买26台，内存芯片的需求也上了一个台阶，Intel等公司的产能是否旺盛，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，2台，几家大厂也就是买一台研究用，3、三星及Intel预计会分别购买5、全年销量预计达到63台。就算到了今年明年，2022年最高超过50台，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，销量能冲到13台。随着先进工艺的需求快速增长，Intel及三星的购买量不变，再加上SK海力士的3台，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，

7月3日消息，成本翻倍，NA提升到了0.55，台积电、ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，23年就购买了一台用于研究，再加上内存芯片爆发的29台，因此未来这种光刻机的销量变数很多，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。Intel也有4台，增量也主要来自台积电及SK海力士，总量达到18台，

值得注意的是，

这种超级EUV的首发客户是Intel，三星、前几年的销量都不算高，台积电的用量达到了38台，

2027年的产能更是有一波大提升，台积电的购买量是UBS估计的，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，只是买了研究用，这方面还是比较谨慎。每年销量维持在100台左右，